ASTM F1894-98

Test Method for Quantifying Tungsten Silicide Semiconductor Process Films for Composition and Thickness

NORM herausgegeben am 10.5.1998

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1894-98
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.5.1998
Zahl der Seiten: 7
Gewicht ca.: 21 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1894-98 :

Keywords:
analysis of tungsten silicide, backscattering analysis, composition, metallization films, quantitative analysis, RBS, Wsix, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)