ASTM F1894-98(2011)

Test Method for Quantifying Tungsten Silicide Semiconductor Process Films for Composition and Thickness (Withdrawn 2020)

NORM herausgegeben am 1.6.2011

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F1894-98(2011)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.6.2011
Zahl der Seiten: 7
Gewicht ca.: 21 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F1894-98(2011) :

Keywords:
analysis of tungsten silicide, backscattering analysis, composition, metallization films, quantitative analysis, RBS, WSix, Backscattering analysis, Composition analysis--semiconductor applications, Density--electronic applications, Metal electronic components/devices, Quantitative analysis/measurement, Rutherford backscattering spectrometry, Tungsten silicide (WSix), ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)