ASTM F2113-01(2007)

Standard Guide for Analysis and Reporting the Impurity Content and Grade of High Purity Metallic Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications

NORM herausgegeben am 1.6.2007

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F2113-01(2007)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.6.2007
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F2113-01(2007) :

Keywords:
electronics, purity analysis, purity grade, sputtering, target, thin film, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)