ASTM F2113-01e1

Standard Guide for Analysis and Reporting the Impurity Content and Grade of High Purity Metallic Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications (Includes all amendments And changes 8/16/2017).

NORM herausgegeben am 10.6.2001

Englisch -
PDF - sofortiges Download (63.10 EUR)

Englisch -

Gedruckt (63.10 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F2113-01e1
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.2001
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F2113-01e1 :

Keywords:
electronics, purity analysis, purity grade, sputtering, target, thin film, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)