ASTM F2139-01

Standard Test Method for Measuring Nitrogen Concentration in Silicon Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.10.2001

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F2139-01
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.10.2001
Zahl der Seiten: 6
Gewicht ca.: 18 g (0.04 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F2139-01 :

Keywords:
nitrogen concentration, secondary ion mass spectrometry, silicon, SIMS, ICS Number Code 71.040.50 (Physicochemical methods of analysis)