ASTM F3166-16

Standard Specification for High-Purity Titanium Sputtering Target Used for Through-Silicon Vias (TSV) Metallization (Withdrawn 2023)

NORM herausgegeben am 1.5.2016

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F3166-16
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.5.2016
Zahl der Seiten: 5
Gewicht ca.: 15 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F3166-16 :

Keywords:
high-purity titanium, sputtering target, TSV metallization,, ICS Number Code 25.220.40 (Metallic coatings)