ASTM F388-84

Method for Measurement of Oxide Thickness on Silicon Wafers and Metallization Thickness by Multiple-Beam Interference (Tolansky Method) (Withdrawn 1993)

Englisch -
Elektronische PDF (72.90 EUR)

Englisch -

Gedruckt (72.90 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F388-84
Anmerkung: UNGÜLTIG
Zahl der Seiten: 6
Gewicht ca.: 18 g (0.04 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F388-84 :

Keywords:
ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)