ASTM F399-00a

Standard Test Method for Thickness of Heteroepitaxial or Polysilicon Layers (Withdrawn 2002) (Includes all amendments And changes 2/18/2021).

NORM herausgegeben am 10.12.2000

Englisch -
Sicheres Online-PDF (65.40 EUR)

Englisch -

Gedruckt (65.40 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F399-00a
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2000
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F399-00a :

Keywords:
epi, epitaxial, layer thickness, poly, polysilicon, profilometer, step height, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)