ASTM F523-02

Standard Practice for Unaided Visual Inspection of Polished Silicon Wafer Surfaces (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.12.2002

Englisch -
Sicheres Online-PDF (74.30 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F523-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 5
Gewicht ca.: 15 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F523-02 :

Keywords:
collimated light, defects, high-intensity light, particle, polished, silicon, visual inspection, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)