Standard Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers Using a Spreading Resistance Probe (Withdrawn 2003) (Includes all amendments And changes 8/16/2017).
NORM herausgegeben am 10.12.2000
Bezeichnung normen: ASTM F525-00a
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2000
Zahl der Seiten: 14
Gewicht ca.: 42 g (0.09 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
calibration, epitaxial layer, resistivity, silicon, spreading resistance, spreading resistance probe, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)