ASTM F533-02

Standard Test Method for Thickness and Thickness Variation of Silicon Wafers

NORM herausgegeben am 10.1.2002

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F533-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.1.2002
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F533-02 :

Keywords:
semiconductor, silicon, thickness, thickness variation, total thickness variation, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)