Standard Test Method for Thickness and Thickness Variation of Silicon Wafers (Withdrawn 2003) (Includes all amendments And changes 8/16/2017).
NORM herausgegeben am 10.12.2002
Bezeichnung normen: ASTM F533-02a
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 5
Gewicht ca.: 15 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
semiconductor, silicon, thickness, thickness variation, total thickness variation, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)