
Standard Test Method for Bow of Silicon Wafers
NORM herausgegeben am 10.1.2002
Bezeichnung normen: ASTM F534-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.1.2002
Zahl der Seiten: 3
Gewicht ca.: 9 g (0.02 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
bow, silicon, wafers, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)