
Standard Test Method for Bow of Silicon Wafers (Withdrawn 2003) (Includes all amendments And changes 8/16/2017).
NORM herausgegeben am 10.12.2002
Bezeichnung normen: ASTM F534-02a
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 3
Gewicht ca.: 9 g (0.02 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
bow, silicon, wafers, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)