Standard Test Method for Measurement of Insulator Thickness and Refractive Index on Silicon Substrates by Ellipsometry
NORM herausgegeben am 10.6.2001
Bezeichnung normen: ASTM F576-00
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.2001
Zahl der Seiten: 9
Gewicht ca.: 27 g (0.06 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
dielectric thickness, ellipsometry, index of refraction, insulator thickness, refractive index, silicon dioxide, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)