NORMSERVIS s.r.o.

ASTM F576-00

Standard Test Method for Measurement of Insulator Thickness and Refractive Index on Silicon Substrates by Ellipsometry

NORM herausgegeben am 10.6.2001

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F576-00
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.2001
Zahl der Seiten: 9
Gewicht ca.: 27 g (0.06 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F576-00 :

Keywords:
dielectric thickness, ellipsometry, index of refraction, insulator thickness, refractive index, silicon dioxide, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)