Standard Test Method for Measuring Flat Length on Wafers of Silicon and Other Electronic Materials (Withdrawn 2003)
NORM herausgegeben am 10.12.1999
Bezeichnung normen: ASTM F671-99
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.1999
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
flats, optical comparator, orientation flats, semiconductor, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)