ASTM F672-01

Standard Test Method for Measuring Resistivity Profiles Perpendicular to the Surface of a Silicon Wafer Using a Spreading Resistance Probe (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.6.2001

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F672-01
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.2001
Zahl der Seiten: 18
Gewicht ca.: 54 g (0.12 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F672-01 :

Keywords:
carrier density profile, profile, resistivity profile, spreading resistance, spreading resistance probe, spreading resistance profile, SRP, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)