Standard Test Method for Measuring Resistivity Profiles Perpendicular to the Surface of a Silicon Wafer Using a Spreading Resistance Probe (Includes all amendments And changes 3/2/2021).
NORM herausgegeben am 10.6.2001
Bezeichnung normen: ASTM F672-88(1995)e1
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.2001
Zahl der Seiten: 18
Gewicht ca.: 54 g (0.12 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
carrier density profile, profile, resistivity profile, spreading resistance, spreading resistance probe, spreading resistance profile, SRP, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)