Test Method for Wafer and Slice Flatness by Interferometric (Withdrawn 1991)
Bezeichnung normen: ASTM F775-88
Anmerkung: UNGÜLTIG
Zahl der Seiten: 7
Gewicht ca.: 21 g (0.05 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)