ASTM F81-01

Standard Test Method for Measuring Radial Resistivity Variation on Silicon Wafers (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.6.2001

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F81-01
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.2001
Zahl der Seiten: 9
Gewicht ca.: 27 g (0.06 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F81-01 :

Keywords:
four-point probe, resistivity, resistivity variation, semiconductor, silicon, uniformity, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)