Standard Test Method for Measuring Radial Resistivity Variation on Silicon Wafers (Withdrawn 2003)
NORM herausgegeben am 10.6.2001
Bezeichnung normen: ASTM F81-01
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.6.2001
Zahl der Seiten: 9
Gewicht ca.: 27 g (0.06 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
four-point probe, resistivity, resistivity variation, semiconductor, silicon, uniformity, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)