Test Method for Detection of Epitaxial Spikes (Withdrawn 1999) (Includes all amendments And changes 8/16/2017).
NORM herausgegeben am 1.1.1993
Bezeichnung normen: ASTM F815-88(1993)e1
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.1993
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
Epitaxial spikes, Nondestructive evaluation (NDE)-semiconductors, Pass-fail test, Visual examination-electronic components/devices, epitaxial spike detection on silicon wafers, pass-fail test,, Silicon-semiconductor applications, wafers-epitaxial spike detection, test, ICS Number Code 31.080.30 (Transistors)