ASTM F84-02

Standard Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers With an In-Line Four-Point Probe (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.12.2002

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F84-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 14
Gewicht ca.: 42 g (0.09 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F84-02 :

Keywords:
four-point probe, four-probe, resistivity, semiconductor, silicon, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)