Test Method for Measurement of Rotational Acceleration of a Wafer for Photoresist Spin Coating (Withdrawn 1997)
Bezeichnung normen: ASTM F907-85(1992)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Gewicht ca.: 300 g (0.66 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM