ASTM F907-85E01R92

Test Method for Measurement of Rotational Acceleration of a Wafer for Photoresist Spin Coating

NORM herausgegeben am 1.1.1996

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F907-85E01R92
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.1996
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM