ASTM F928-02

Standard Test Methods for Edge Contour of Circular Semiconductor Wafers and Rigid Disk Substrates (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.1.2002

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F928-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.1.2002
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F928-02 :

Keywords:
contour, edge contour, gallium arsenide, optical comparator, projection microscope, rigid disk, semiconductor, silicon, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)