NORMSERVIS s.r.o.

ASTM F928-93(1999)

Standard Test Methods for Edge Contour of Circular Semiconductor Wafers and Rigid Disk Substrates

NORM herausgegeben am 10.1.2002

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F928-93(1999)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.1.2002
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F928-93(1999) :

Keywords:
contour, edge contour, gallium arsenide, optical comparator, projection microscope, rigid disk, semiconductor, silicon, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)