ASTM F951-02

Standard Test Method for Determination of Radial Interstitial Oxygen Variation in Silicon Wafers (Withdrawn 2003)

NORM herausgegeben am 10.1.2002

Englisch -
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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ASTM F951-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.1.2002
Zahl der Seiten: 5
Gewicht ca.: 15 g (0.03 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM

Die Annotation des Normtextes ASTM F951-02 :

Keywords:
infrared transmission, interstitial oxygen, oxygen, radial variation, silicon, uniformity, variation, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)