Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
NORM herausgegeben am 1.4.2024
Bezeichnung normen: ASTM E986-04(2024)
Ausgabedatum normen: 1.4.2024
Zahl der Seiten: 3
Gewicht ca.: 9 g (0.02 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
electron beam size, E766, graphite fiber, magnification, NIST–SRM 2069B, resolution, SEM, SEM performance, spot size, waveform ,, ICS Number Code 31.120 (Electronic display devices),37.020 (Optical equipment)