Standard Test Methods for Measuring Resistivity of Semiconductor Slices or Sheet Resistance of Semiconductor Films with a Noncontact Eddy-Current Gage (Withdrawn 2003)
NORM herausgegeben am 10.12.2002
Bezeichnung normen: ASTM F673-02
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 10.12.2002
Zahl der Seiten: 6
Gewicht ca.: 18 g (0.04 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
contactless measurements, eddy current, nondestructive evaluation, resistivity, semiconductor, sheet, resistance, silicon, thin films, wafer, ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)