
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials.
NORM herausgegeben am 31.10.2014
Bezeichnung normen: BS EN 62047-21:2014
Ausgabedatum normen: 31.10.2014
Zahl der Seiten: 18
Gewicht ca.: 54 g (0.12 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 580 77554 3 Status: Definitive