
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for the nonlinear vibration of MEMS resonators.
NORM herausgegeben am 29.1.2019
Bezeichnung normen: BS IEC 62047-32:2019
Ausgabedatum normen: 29.1.2019
Zahl der Seiten: 22
Gewicht ca.: 66 g (0.15 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 580 97389 5 Status: Definitive