
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever.
NORM herausgegeben am 24.10.2022
Bezeichnung normen: BS IEC 62047-42:2022
Ausgabedatum normen: 24.10.2022
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 539 16581 4 Status: Definitive