
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of impact resistance of nanostructures.
NORM herausgegeben am 1.4.2025
Bezeichnung normen: BS IEC 62047-45:2025
Ausgabedatum normen: 1.4.2025
Zahl der Seiten: 18
Gewicht ca.: 54 g (0.12 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 539 21849 7 Status: Definitive