BS IEC 62047-46:2025

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of tensile strength of nanoscale thickness membrane.

NORM herausgegeben am 30.4.2025

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: BS IEC 62047-46:2025
Ausgabedatum normen: 30.4.2025
Zahl der Seiten: 18
Gewicht ca.: 54 g (0.12 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS

Die Annotation des Normtextes BS IEC 62047-46:2025 :

ISBN: 978 0 539 21850 3 Status: Definitive