
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of bending strength of microstructures.
NORM herausgegeben am 28.8.2024
Bezeichnung normen: BS IEC 62047-47:2024
Ausgabedatum normen: 28.8.2024
Zahl der Seiten: 20
Gewicht ca.: 60 g (0.13 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 539 21851 0 Status: Definitive