
Semiconductor devices. Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices. Test method for defects using optical inspection.
NORM herausgegeben am 8.2.2019
Bezeichnung normen: BS IEC 63068-2:2019
Ausgabedatum normen: 8.2.2019
Zahl der Seiten: 28
Gewicht ca.: 84 g (0.19 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 580 51374 9 Status: Definitive