
Semiconductor devices. Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices. Test method for defects using photoluminescence.
NORM herausgegeben am 24.7.2020
Bezeichnung normen: BS IEC 63068-3:2020
Ausgabedatum normen: 24.7.2020
Zahl der Seiten: 28
Gewicht ca.: 84 g (0.19 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 539 02136 3 Status: Definitive