
Semiconductor devices. Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices. Procedure for identifying and evaluating defects using a combined method of optical inspection and photoluminescence.
NORM herausgegeben am 7.9.2022
Bezeichnung normen: BS IEC 63068-4:2022
Ausgabedatum normen: 7.9.2022
Zahl der Seiten: 28
Gewicht ca.: 84 g (0.19 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 539 18417 4 Status: Definitive