
Semiconductor devices. Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices. Test method for defects using X-ray topography.
NORM herausgegeben am 13.10.2026
Bezeichnung normen: BS IEC 63068-5:2026
Ausgabedatum normen: 13.10.2026
Zahl der Seiten: 36
Gewicht ca.: 108 g (0.24 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 539 32631 4 Status: Definitive