BS ISO 14706:2000

Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy.

NORM herausgegeben am 15.5.2001

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: BS ISO 14706:2000
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 15.5.2001
Zahl der Seiten: 32
Gewicht ca.: 96 g (0.21 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS