
Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy.
NORM herausgegeben am 31.7.2014
Bezeichnung normen: BS ISO 14706:2014
Ausgabedatum normen: 31.7.2014
Zahl der Seiten: 36
Gewicht ca.: 108 g (0.24 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 580 82725 9 Status: Under Review