
Atomic layer deposition. Vocabulary.
NORM herausgegeben am 17.11.2023
Bezeichnung normen: BS ISO 8181:2023
Ausgabedatum normen: 17.11.2023
Zahl der Seiten: 18
Gewicht ca.: 54 g (0.12 Pfund)
Land: Britische technische Norm
Kategorie: Technische Normen BS
ISBN: 978 0 539 19026 7 Status: Definitive