Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials
NORM herausgegeben am 1.3.2012
Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-10
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 90140
Ausgabedatum normen: 1.3.2012
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Tato část IEC 62047 specifikuje zkušební metodu pro měření tlakových vlastností pomocí tlaku mikrosloupku. Metoda má vysokou přesnost, opakovatelnost a zkušební vzorek je snadno vyrobitelný. Měří se vztah napětí a deformace vzorku působící mimo jeho osu a stanovuje se tlakový modul pružnosti a mez tečení.
Zkušebním přípravkem je válcový sloupek vyrobený z neohebného (velmi tuhého) substrátu určeného pro mikrostrojní technologie. Poměr průměru a výšky sloupku by měl být více jak 3. Tato norma se může použít pro kovové, keramické a polymerní materiály