Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials
NORM herausgegeben am 1.10.2012
Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-14
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 91588
Ausgabedatum normen: 1.10.2012
Zahl der Seiten: 28
Gewicht ca.: 84 g (0.19 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Tato norma popisuje definice a postupy pro měření mezní tvářitelnosti kovových materiálů tvořících vrstvu pro tloušťky v rozmezí od 0,5 _m do 300 _m. Kovové vrstvy, které jsou v normě zmiňovány se používají v elektrických částech, MEMS a mikrosoučástkách. Norma uvádí metody předpovídání vad v materiálu při vtiskávacím procesu