Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials
NORM herausgegeben am 1.4.2015
Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-21
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 97102
Ausgabedatum normen: 1.4.2015
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Tato norma definuje stanovení Poissonova poměru z výsledků měření, které jsou získány pomocí zatěžování tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS) v jedné, nebo dvou osách. Jedná se o vzorky, které mají délku a šířku menší jak 10 mm a tloušťku menší jak 10 _m