Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing
NORM herausgegeben am 1.5.2007
Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-3
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 78595
Ausgabedatum normen: 1.5.2007
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Tato mezinárodní norma specifikuje normalizovaný zkušební kus, který se používá pro zajišťování vhodnosti a přesnosti systému zkoušení v tahu pro tenkovrstvové materiály o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS) mikrostrojů a podobných součástek.
Tato mezinárodní norma vychází z koncepce, aby systém zkoušek v tahu mohl zaručovat vhodnost a přesnost při měření pevnosti v tahu normalizovaných zkušebních kusů, jejichž pevnost v tahu je stanovena předem, v předpokládaném rozsahu. Norma rovněž stanoví zkušební kusy pro minimalizaci odchylek charakteristik mezi zkoušenými kusy.
Přejímaná EN 62047-3 představuje 3 strany anglického textu a 15 stran anglického a francouzského textu normy IEC