Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications - Specifications and measuring methods
NORM herausgegeben am 1.6.2017
Bezeichnung normen: ČSN EN 62276-ed.3
Zeichen: 358417
Katalog-Nummer: 502616
Ausgabedatum normen: 1.6.2017
Zahl der Seiten: 48
Gewicht ca.: 144 g (0.32 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Tato norma se týká výroby orientovaných monokrystalických desek ze syntetického křemene, lithium niobátu (LN), lithium tantalátu (LT), lithium tetraborátu (LBO) a lanthan gallium silikátu (LGS). Tyto monokrystalické desky se používají jako substráty při výrobě rezonátorů a filtrů s povrchovou akustickou vlnou (PAV).
Norma stanovuje specifikaci požadavků na materiál a na desky, které jsou z něho vyrobeny. Dále jsou uvedeny metody zkoušení jednotlivých parametrů monokrystalických desek, včetně geometrie a defektů povrchu, inkluzí, mřížkové konstanty, krystalové orientace a další. Jsou rovněž uvedeny metody vizuální kontroly, identifikace, značení, balení a dodací podmínky pro tyto desky