Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORM herausgegeben am 1.7.2012
Designation standards: ČSN EN 62047-10:2012/Oprava1
Classification mark: 358775
Catalog number: 90863
Note: Korrektur
Publication date standards: 1.7.2012
The number of pages: 4
Approximate weight : 12 g (0.03 lbs)
Country: Czech technical standard
Kategorie: Technische Normen ČSN