ČSN EN 62047-17 (358775)

Annotation of standard text ČSN EN 62047-17 (358775):

Tato norma popisuje metodu pro provádění zkoušek vyboulením vrstvy bez podložky, která je vyboulena přes okénko. Vzorek je vyroben s mikro/nano konstrukčních vrstvových materiálů včetně kovových, keramických a polymerních vrstev, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tloušťka vrstvy je v rozsahu od 0,1 µm do 10 µm a šířka obdélníkového a čtvercového okénka a průměr kruhové membrány je v rozsahu od 0,5 mm do 4 mm. Tyto zkoušky se provádějí při pokojové teplotě, působením rovnoměrně rozloženého tlaku na vzorek zkoušené vrstvy přes okénko. Touto metodou se může určit modul pružnosti a zbytkové pnutí pro vrstvové materiály