Semiconductor devices - Part 1: Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers
NORM herausgegeben am 1.7.2011
Bezeichnung normen: ČSN EN 62374-1
Zeichen: 358768
Katalog-Nummer: 88688
Ausgabedatum normen: 1.7.2011
Zahl der Seiten: 28
Gewicht ca.: 84 g (0.19 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Tato norma popisuje zkušební metodu, zkušební strukturu a metodu pro odhad životnosti pro zkoušku časově závislého dielektrického průrazu (TDDB) pro intermetalické vrstvy vytvořené pro polovodičové součástky